研究用、開発用真空機器の開発
CVD装置、スパッタ装置、真空ユニット（排気用）等ご希望のご予算に応じて設計致します。
CVD装置
対応基板サイズ |
２in×１枚
|
|---|---|
基板回転機構 |
磁気シール、0〜20rpm
|
基板ヒーター |
セラミックタイプ ＜600℃
|
恒温槽 |
450×450×500mm
200℃ max
|
ガス噴出ノズル |
1/4"
|
ガス接続 |
原料：1/4"VCR
|
予備室接続 |
ナシ
|
真空排気装置 |
ドライポンプ
|
MOPZ-500型
対応基板サイズ |
４in×１枚
|
|---|---|
基板回転機構 |
オプション
|
基板ヒーター |
抵抗加熱 300℃＜
|
恒温槽 |
450×450×500mm
200℃ max
|
ガス噴出ノズル |
1/4"
|
ガス接続 |
原料：1/4"VCR
|
予備室接続 |
ナシ
|
真空排気装置 |
ドライポンプ
|
MOPZ-600型